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             White Light Interferrometer(간섭계) 타입 3차원 측정기.

3차원 비접촉식 표면 형상 측정기(백색광 간섭계 원리)

Repetability 1Angstrom(=0.1nm) ----->AFM(SPM)급 측정으로 대면적 XY축 100mm~300mm 광범위한 측정범위

기존의 AFM의 한계를 극복한 미국 최신기술

WLI 간섭계를 이용한 사양

 

1.수직측정반복도(Repetability):

                           Standard Mode-1nm

                       Precise Mode-0.1nm(=1Angstrom)

                           수직5~10mm 측정 Mode-10~100nm

 

2.수직 측정범위 : 30µm/100µm/5mm~10mm

                          (측정범위에 따라, 수직측정 분해능 0.1nm/1nm/1micron

                           으로 달라짐,세가지 측정범위의 센서능력)

 

3.Mirau Objective :50x,20x,10x 대물렌즈

   Michelson Objective: 5x,2.5x 대물렌즈

   한시스템에 적용하여 샘플에 따라, XY축 측정   범위 다양화함

 

4현미경적용; Trinocular Head적용하여  Eye piece에 의한 작업자의 표면검사분석

  뿐   아니라 실시간 Video Display

 

5.Autofocusing:자동에 의한 샘플의 촛점 맞춤 방식으로 간섭무늬를 자동 인식하여

                         작업자가 번거로운 Focusing작업을 배제하고 매우 편하게 측정시작

 

6.센서 Head의 수직측정각도를 +/-7도까지 Tilting가능하여,

   경사 및 특수한 표면 측정 가능.

 

7.상용화된 SPM유명 공급자:Veeco,PSI, Jeol등  유명공급사의 측정데이터와

                                           이미지 호환  하여 분석 가능한 소프트웨어 적용.

 

 

Technical Specification

 

 박막의 증착공정제어 옵틱센서 시스템

 평탄도,필름 Stress측정기

  다양한 방식의 3차원 표면형상 측정기

 접촉식 + 옵틱센서 겸용 버전 카타로그

 

 한미산업 

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