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                                             고온 CREEP 시험기--1000도씨 적용

                                   Stiffness/Creep/Plastic Deformation/Elasticity 시험분석기

1,000도시 CREEP 시험분석기

Universal Mechanical & Tribology Tester 

실리콘밸리 최첨단 Micro/Nano 하중 제어 기술, 자체 센서기술로 마이크로/나노 하중제어의 고온경도/크리프/인장압축 물성 시험기를 한 대에서 선택사양에 따라 할 수 있습니다.

아래 하중 적용센서 선택 적용 가능:

NANO~MICRO~MACRO 수준의 하중적용 센서를 선택하여 한 대의 시험기에 장착 하여, 실험 가능하고, 센서 교체에 1분 이내의 시간이면 충분 합니다.

PRINTBEED 시편의 60미크론의 코팅 두께 층에 대한 CREEP 시험  --->

ROCKWELL 200미크론 반경의 구형팁을 60미크론 두께의 코팅 층에 초기 50g의 하중을 적용하고

120초간 CREEP 시험(시험 편(試驗片)에 일정한 하중을 장시간 가함으로써 생기는 변형과 경과 시간과의 관계를 측정하여 크리프 강도 따위를 조사하는 시험.)을 하였고 아래 샘플 3가지에 대하여 3번의 반복시험을 한 결과, 각 시편은 반복성이 있는 결과를 보여주며, 검정색 5번시편이 CREEP 강도치가 가장 높은 결과 보여준다. 이 시험의 경우, 시험초기 50g 하중을 강제적으로 적용하고, 이후 로크웰 팁에 걸리는 하중의 변화를  120초간 측정하여 CREEP강도 시험을 편하게 하였다, 수직하중에 대한 수직으로 변형되는 변위를 측정도 가능하다.

웨이퍼 CMP 평탄화 공정용 연마패드의 물성 시험 1.

아래 Fig 6의 그림을 보면은 연마 패드에  상부시편으로 Disc를 잡고, 마패드에 접촉 시켜 하중을 적용했다가 해지했다를 시험하는 Loading/Unloading 시험을 한 결과,

하중을 적용할 때는 Elasticity를 측정가능하고,  50N의 하중을 일정하게 적용 하여 수직 변형을 측정하면은 Creep 특성을 측정 가능하고,  상부시편의 하중을 0으로 제거하면은 하부시편 Pad의 plasticitcity(소성변형)을 측정 가능하다.

아래 Fig 6을 보면은 Pad 2와 Pad1의 그래프에서 차이점을 볼 수 있는데,

Pad2 의 경우(stiffness of 0.2 micron/N, practically no creep, post-test plastic deformation of 2.2 micron) 이고,

Pad1 의 경우(stiffness of 0.24 micron/N, creep of 1.7 micron, post-test plastic deformation of 6.6 micron)  이다.

                  Fig. 6. Pad의 Loading-Unloading 시험

웨이퍼 CMP 평탄화 공정용 연마패드의 물성 시험 2.

시험대상인 하부 시편CMP 연마 패드에는 Groove가 있어서,  상부 시편에 2인치 직경의 Disc와 0.25인치 직경의 볼로 연마패드를 누를 경우, 물성이 각각 다른 결과를 볼 수 있습니다.

시험 데이터가 Fig 7. 아래와 같음을 볼 수 있습니다.   0.25인치 볼로 Groove 사이에 있는 패드의 골과 골 사이의 물성 평가가 가능함을 볼 수 있습니다. 

                Fig. 7. 하부 시편 연마Pad의 변형 시험-->

                         상부팁을 직경 2인치 디스크와 직경 0.25인치 볼로 누를 경우의 측정 결과

1,000도씨 까지 로크웰 경도 시험 환경 제어 가능,

온도제어 속도가 빠릅니다.

고온 고속으로 300도씨, 600도씨, 900도씨,

로크웰 형태의 시험 후  샘플에 압자 흔적

상온에서-->900도씨까지 온도 변화에 따른 ROCKWEL방식 경도수치 변화

를 아래 그라프에서 보실 수 있습니다.--->300도씨까지 물성의 변화가 별로 없다가, 300도~700도씨까지 경도의 변화 변화를 보이다가,  700도씨 이상에서 물성치의 급격한 변화를 볼수 있습니다

ASTM E-18 의 로크웰 표준 시험 방식

시험방식은 동일하게, 고온용 시험 팁은 BRUKER사와 협의 합니다.

자동차 엔진 부품(밸브등)의 비커스 경도치와 실린더/피스톤의 마찰마모 시험이 가능하고,

로크웰 방식으로는 영하의 시험뿐 아니라 최대 1,000도씨까지 시험이 가능합니다.

1.측정요소(1000도씨 고온 시험 환경 적용이 가능합니다.)

 물성 측정요소 :  -HARDNESS(ROCWELL/VICKERS/SHORE/기타등등)

                 -Tensile/Compression

                 -Micro Hardness/Micro Indenting

                 -Creep/Elastic Modulus/Youngs Modulus

                 -Penetration/Piercing Resistance.

                 -Sharpness

 접착강도 측정요소 : -Scratch Hardness Test --->일정하중하에서 Scratch Resistnce/스크래치 경도치 측정 --->박막 경도치 측정용

                              -Scratch Adhesion Test --->하중을 증가시키며 시험하며 코팅접착력/Scratch Toughness 측정

                     -Delamination/Ahdesion

                     -Friction/Wear/Deformation

 마찰마모윤활측정요소 : -다양한 재질표면의 마찰마모윤활(TRIBOLOGY)특성 및 코팅특성 측정

                        -전문적인 회전식 Pin on disc(0.1~5,000rpm)

                        -왕복동식마찰마모(50Hz)/Block on Ring/Fourball

    한미산업 

전화 :  02 - 3411- 0173    팩스 :  02 - 3411 - 0178 

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