Home

      첨단기술의 상징--- BRUKER (=구, Veeco)사!!!

 

Contact Profiler(접촉식 3차원측정기)                        브랜드 DEKTAK(덱탁)!!!

Model DXT-1968년 1세대 박막두께측정과 표면거칠기 측정기를 세계최초로 개발한 후,  제 10세대 혁신적인 신상품!!!

Bruker사의 기술은  경쟁자를 허용하지 않습니다.!!!

 

Bruker사의 웹사이트-->http://www.bruker-axs.com/stylus_and_optical_metrology.html

 

모델 DXT, Contact profiler 소개 동영상  

 

 

1968년 세계 최초 Dektak I 박막두께 측정기 개발 이후의 역사!!!

 

    DXT-E버전(표면거칠기,박막두께 측정기)                           DXT-A(표면거칠기 측정기, 박막두께,응력변화, 3차원측정기)

                                             측정기 아래에 추가 선택 사양으로 진동방지 Air Pad 혹은 Air Table  공급 가능

BRUKER사의  DEKTAK 모델 DXT의 특징

1.센서를 잡아주는 지지대가 세계최초 Arch형으로 설계-기존의 직각지지대에 비하여 수직 nano meter 급 분해능으로

  측정시, 아래위로 nm급의 울렁거림도 허용하지 않음.

 

4.수직측정 정확도---  (5Å,  1sigma)repeatability 보다 좋다. 1Sigma 의미는 10번 측정식 불량측정데이터가 3~4개를 의미.

 

5.수직측정범위-세계 최대 1mm, 센서의 교체 없이 수직측정범위 10nm~1mm를  측정한다.

 

6. Self Aligning 스타일러스 팁이 가능한 시스템으로 팁교체시 매우 간단하고 편안하게 교체 한다. 1분이내 교체시간이면 충분.

 

9. 작업 소프트웨어가 매우 간편하게 만들어져서, 서툰작업자도 초기 화면에서, 측정셋업을 모두 할 수 있다.

 

10.태양광 Wafer와 같이 표면에 있는 코팅이나 패턴의 단차가 균일하게 되어 있지 않아도, 소프트웨어서 단차의 폭이나 넓이를

    선명하게 자동으로 잡아내 준다.

이외에 이 사이트에 노출하지 않은 중요한 특징과 장점은 연락주시면  상담 드리고, 정보 자료 제출 드리도록 하겠습니다.

 

세가지 모델이 있습니다.

모델 DXT-E--->4Inch 정사각형 샘플홀더가 기본형으로 장착되고, 표면거칠기나 코팅두께 측정기능

모델 DXT-S--->4~6inch wafer holder 수동회전형이 기본형으로 장착되어 표면거칠기나, 코팅두께 측정기능.

모델 DXT-A--->8inch wafer holder 자동회전형제어로 기본형으로 장착되어, 표면거칠기, 코팅두께, 코팅전후 응력변화,3차원 측정까지 가능.

 

-1분내에 Self-aligning stylus sensor 와 Tip 교체 작업 가능.
-전문적으로 훈련된 작업자가 아니라도 쉽게 센서의 손상을 입히지 않고 교체 작업을 가능하게 한다.

-빠르고, 간단하게, 동일한 위치에 여러번의 측정과, 다양한 위치로 프로그래밍하여 측정 가능.

 

측정반복도가  보다 좋은 것을 보여주는 데이타 입니다. 타업체 측정기는 카타로그에는 매우 좋은 측정반복도를

보여주고 있으나, 실제 측정시 위와 같은 반복도의 데이타를 보여주지 않습니다. 이 데이타는 측정분석기의 대명사인

Bruker사에서 보증하는 자료 입니다.

 

 

다양한 샘플홀더(위 왼쪽서부터)

a.DXT-4IN BASE( 4-INCH SQUARE BASE PLATFORM WITH NO VACUUM CAPABILITY)

b.DXT-4-6IN BASE(4 TO 6 INCH WAFER VACUUM CHUCK)

c. DXT-2-3IN WVC(2 TO 3 INCH WAFER VACUUM CHUCK)

d. DXT-8IN WVC(전용 8 INCH WAFER VACUUM CHUCK)

e. DXT-CVC(CERAMIC VACUUM CHUCK WITH ADAPTER)

f. DXT-PV CHUCK(전용 태양광 PHOTO VOLTAIC VACUUM CHUCK WITH ADAPTER)

MEMS 적용 사례: 접촉식센서의 하중적용을 매우 약하게 하여 측정 샘플 표면에 상처를 내지 않고 측정 할  수 있다.-

 

코팅전후 Stress 측정 기능

 

-코팅전후 샘플표면에 Stress를 받게 될 경우, 모재는 코팅경계면의 박리를 일으

  키고, 표면의 균열(Crack), 혹은 식각의 문제를 발생시킨다.

 

-항상 코팅전후에 이러한 응력을 일으키지 않기를 원하게 되고,

 

-그러므로, 엔지니어는 코팅전과 후에 표면의 외형 변화를 측정하여 Stress를

  측정하고 관리하여야 한다.

사양:

 중요 사양 및 특징에 대하여 더 상세히 상담하고 싶으시거나 견적을 원하시면 아래 연락처로 연락 주시기 바랍니다.

 타업체가 가지고 있지 못한, 2만여 세계유명연구기관과 제조업체 고객사들과 공동기술개발 된 50년 역사의

  접촉식 3차원형상측정기의 기술을 공유하시기 바랍니다.!!!

 

                     상세한 사양과 정보를 원하시면 아래 연락처 한미산업으로 전화 주시기 바랍니다.

                                           다양한  사이즈와 분해능의 3차원 측정기는 여기로--->

 

 한미산업 

전화 :  02 - 3411- 0173    팩스 :  02 - 3411 - 0178 

sales@gohanmi.com

2001-2005 Hanmi Industries Ltd. All rights reserved
sales@gohanmi.com