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고속 TTV 측정기

모재두께,비틀림,평탄도,박막의 응력,표면양면3차원 측정

모델 CT200 고속 TTV 측정기(생산라인 적용)

System Specifications:

1.측정범위

–0 to 2 mm standard, greater range to 5mm optional.

2.측벙 정밀도와 속도

–0.2um (1s)

3.Accuracy

–0.2um or 0.05% of substrate thickness, whichever is greater.

4.Surface reflectivity requirement (rough or polished)

–1% to 100%

5.데이터 획득 속도

–< 1 sec

6.측정 샘플 사이즈

–300mm standard, extension to < 600mm optional

7.측정가능 재질

–Metal, semiconductor, glass or equivalent optical material

8.측정 조건

–Polished or rough for thickness measurement

9.Controller and interface

–PC with Windows and 19” LDC monitor

–Integrated SW for graphical display, surface curvature calculation, and film stress analysis

10.Power requirement

–90V ~ 240V, 300Watt

TTV,양표면의 3차원 측정외에,

옵션사항으로, 평탄도와 박막두께 측정

모재 측정 센서 개념

표면의 3차원 측정/두께측정/표면의 평탄도/필름 응력 계산

한미산업

전화 : 02 - 3411- 0173 팩스 : 02 - 3411 - 0178