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고속 TTV 측정기

모재두께,비틀림,평탄도,박막의 응력,표면양면3차원 측정       

 

모델 CT200  고속 TTV 측정기(생산라인 적용)

 

 System Specifications:        

1.측정범위

   –0 to 2 mm standard, greater range to 5mm optional.
2.측벙 정밀도와 속도
   –0.2um (1s)
3.Accuracy
   –0.2um or 0.05% of substrate thickness, whichever is greater.
4.Surface reflectivity requirement (rough or polished)
   –1% to 100%
5.데이터 획득 속도
   –< 1 sec

 

6.측정 샘플 사이즈
   300mm standard, extension to < 600mm optional
7.측정가능 재질
   Metal, semiconductor, glass or equivalent optical material
8.측정 조건
   Polished or rough for thickness measurement
9.Controller and interface
   PC with Windows  and 19” LDC monitor
   Integrated SW for graphical display, surface curvature calculation, and     film stress analysis
10.Power requirement
   90V ~ 240V, 300Watt

 

TTV,양표면의 3차원 측정외에,

       옵션사항으로, 평탄도와 박막두께 측정

 

            (평탄도, Film Stress측정기)-2차원 측정

                             Ellipsometer(고속 박막 두께측정기) 

                                        다양한 타입의 2,3차원 측정기       

 모재 측정 센서 개념

표면의 3차원 측정/두께측정/표면의 평탄도/필름 응력 계산

 

한미산업 

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