표면 평탄도 측정기(Stress 측정)
---반경 12km의 표면 평탄도(곡률) 측정, 세계최고 정밀 기술
---코팅,필름 Stress 측정(Storney 방정식)
---Multiple beam 동시 측정(Vibration noise 저항하는 것과 동시).
---2차원적 표면 굴곡 측정.
---생산라인 적용 가능.
---웨이퍼 등, 다양한 샘플표면.
---LCD display등, 대면적 적용 가능.
In-Situ Stress Monitor 모델 S-80
Ellipsometer(고속 박막 두께측정기,박막코팅증착제어센서시스템)
모델 S-100, 표면 평탄도(=Stress) 측정기
Ex-situ Measurment
1.Semiconductor 모재의 평탄도와 휨율 측정
2.Film Stress
3.Optical Surface Inspection
In-situ Measurment
1.필름 증착 공정 감시
2.온도와 응력의 상호 작용
3.Flat Panel Diplay 공정
Ellipsometer(박막두께측정기)와 Curvature 측정기를
혼합한 시스템
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