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     표면 평탄도 측정기(Stress 측정)

                                                                                         

---반경 12km의 표면 평탄도(곡률) 측정,  세계최고 정밀 기술

---코팅,필름 Stress 측정(Storney 방정식)

---Multiple beam 동시 측정(Vibration noise 저항하는 것과 동시).

---2차원적 표면 굴곡 측정.

---생산라인 적용 가능.

---웨이퍼 등, 다양한 샘플표면.

---LCD display등, 대면적 적용 가능.

    

                                                                  In-Situ Stress Monitor 모델 S-80

                                                Ellipsometer(고속 박막 두께측정기,박막코팅증착제어센서시스템) 

                                                                                                     

                                                      TTV,모재두께,휨.비틀림,평탄도,박막의 응력,표면양면3차원 측정기  

                                                      다양한 타입의 2,3차원 측정기

 

 

모델 S-100, 표면 평탄도(=Stress) 측정기

 

Ex-situ Measurment

1.Semiconductor 모재의 평탄도와 휨율 측정

2.Film Stress

3.Optical Surface Inspection

 

In-situ Measurment

1.필름 증착 공정 감시

2.온도와 응력의 상호 작용

3.Flat Panel Diplay 공정

 

 Ellipsometer(박막두께측정기)와 Curvature 측정기를

     혼합한 시스템

 

 

 

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