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 3차원 비접촉식 표면 형상 측정기

 

1.측정요소

 - 2차원/3차원 표면형상 외형

 - Rounghness(표면 거칠기)

 - Waviness(표면기복)

 - Contour(외형), 높이, 변위 측정

 - Topography

 - 두께, 및 코팅 두께 측정

  --->접촉식 센서와 혼용 가능.

 

 

2. 분류별 Optical Sensor의 종류

                      (아래 자료 참고 하세요)

 Micro/Nano Tribology

 

1.측정요소  

  - Micro/NANO Indenter(Hardness,물성)

  - Scratch Resistance

  -  Friction/Wear/Deformatio

  - Adhesion, Delamination

  - Creep

  - Tensile, Elastic Modulus

 

 2.적용범위

 - Thin Film/MEMS/다양한 형태의 코팅시험

 - 마그네틱 헤드/마그네틱 테이프,Media  
 -
윤활유,유리,접착체,의료용 Tool

 - 하드디스크, Magnetic Optical DIsk 시

 - CMP Tester 및 반도체 가공센서

 

Point Sensors:

 점점이 표면을 찍어나가며,점이 모여서 표면의 라인을 측정하며, 라인이모여서, 면측정을 한다.

 센서는 일반적으로 아래위로 촛점을 맞추고, 측정시편을 얹어놓은 Stage를 XY축으로 움직이며 제어 한다.

 

 센서의 종류 :

 1.Confocal laser Sensor(수직분해능 0.1 or 0.4㎛/깊은구멍,Edge),

 2.Autofocus Laser Sensor(수직분해능 5~10nm,초정밀,대면적),

 3.White Light Point Sensor(수직분해능 1nm,0.3~1㎛)

 4.Chromatic Abberration Sensor(색수차이용, 다양한 수직측정 범위센서  300㎛/600㎛/3mm/6mm/10mm센서 헤드 선정 및 추후구매

                                    가능,nano meter와 micron meter분해능 한장비에서 사용가능) )

 5.Conoscopy(편광 및 홀로그래픽원리이용,좁고깊은구멍,뾰족한 Edge, 어두운 Corner,수직측정범위 25/50/75mm 수직분해능 3/6/10)

 6.Triangulation Laser(수직분해능 2㎛, 수직측정범위8~50mm이상 ),

 7.웨이퍼 전용 두께측정기(TTV)

  

Line Sensors:

 라인이 표면을 훑어가듯이 측정한다. 대면적에 빠른측정,Waviness 및  외면,가공형상,변위측정및,QC에 좋다.

 

 센서의 종류 :    1.Triangulation Laser

                                      --->DISTANCE SENSOR

                            --->LINE SCANNER

                               2.Stripe Projection Sensor

 

 

Area Sensors:

 표면의 면을 한번에 측정해나간다. 1x1mm 이내의 초정밀 nano단위 측정기 및 큰면적에 대한 빠른측정기등으로 나누어  진다.

 

 센서의 종류 :

  

 1.White Light Interferrometry(백색광 간섭원리,수직 0.1nm, 수평 0.5micron 최소 분해능)

                    ---->접촉식 + 옵틱센서 겸용 버전 카타로그

 

  2. Short Coherence Sensor(WLI LARGE TYPE, 14x10mm 대면적 Stitch없이 수직분해능 1nm or 10nm 측정,생산라인 적용)

   

  3.Confocal Microscope(작업중, 2010년말 출시예정)

 4.웨이퍼 전용 두께측정기(TTV)

 

 

3.휴대용 및 특수 측정분석검사기

 - 휴대 및 연구용 3차원 측정기

 - 내경의 진원도와 내면 거칠기 측정기

 - 휴대및 연구용 현미경

 - 비파괴식 자동차 엔진 검사/분석 장비(자료준비중)

  -휴대용 표면 거칠기 측정기(접촉식,조도측정기)

 

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